基于獨立雙傳感器的創新設計,通過精確協同與優化配置,確保每個傳感器都能在專屬領域內發揮出獨一無二的優勢,促進了傳感器之間的互補性,給用戶帶來最優質的使用體驗。
傳感器切換方便,巧妙的機械結構設計,使得輪廓傳感器與粗糙度傳感器在互換時更加省時省力。
獨立雙傳感器,將傳感器的性能發揮至極致
基于獨立雙傳感器的創新設計,通過精確協同與優化配置,確保每個傳感器都能在專屬領域內發揮出獨一無二的優勢,促進了傳感器之間的互補性,給用戶帶來最優質的使用體驗。
傳感器切換方便,巧妙的機械結構設計,使得輪廓傳感器與粗糙度傳感器在互換時更加省時省力。
型號 | FDR | |
測量范圍 | X軸 | 120-220mm |
X軸分辨率 | 1.2nm | |
Z軸 | 420、620mm可選 | |
輪廓傳感器 | Z1軸量程 | 30-60mm可選 |
Z1分辨率 | 1.2nm | |
輪廓精度 | Z1線性精度 | ≤±(0.5+|0.02H|)μm |
圓弧 | 士(1+R/12)μm | |
圓弧Pt | ≤0.3μm | |
角度 | ±1′ | |
直線度 | 0.3um/100mm(截止波長0.8) | |
測量速度 | 2mm/s | |
粗糙度傳感器 | 量程 | ±620μm |
分辨率 | 262144:1 | |
粗糙度精度 | 指示精度 | ≤±(5nm +2.5%) |
殘值噪聲 | ≤0.005μm | |
重復性 | 1δ≤1nm | |
截止波長 | 0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8mm | |
評定長度 | λC×2、3、4、5、6、7 |
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