超微傳感：0.001μm級分辨率傳感器，精準捕捉納米級表面形貌特征
精密運動：高剛性空氣軸承回轉系統（徑向跳動≤0.05μm），確保測量基準穩定性
抗擾采集：寬頻信號處理能力，實現純凈信號提取
智能隔振：多級隔振系統，有效隔離環境微振動干擾
自動圓柱度諧波分析測量儀FFT-CYA系列
產品參數PRODUCT PARAMETERS
| 型號 | FFT-CYA | ||
| 旋轉工作臺 | 回轉精度 | （0.025+6H/10000）μm | |
| 旋轉速度 | 6、8、10rpm | ||
| 工作臺有效直徑 | 280mm | ||
| 最大測量直徑 | 300mm | ||
| 最大回轉直徑 | 450mm | ||
| 臺面承重 | 20、30kg可選 | ||
| 垂直軸 | 直線度 | 0.3μm/100mm | |
| 移動方式 | 電動 | ||
| 垂直移動 | 300、480、600mm可選 | ||
| 水平臂 | 水平移動 | 165mm | |
| 凸出量 | 25mm | ||
| 水平移動方式 | 電動 | ||
| 檢測器 | 傳感器量程 | ±500μm | |
| 傳感器分辨率 | 最高0.001μm | ||
| 采集器件 | 圓光柵 | ||
| 圓周采樣點數 | 14400 | ||
| 諧波分析模塊 | 圓光柵分度精度 | 2/10000 | 0.6/1000 |
| 分析波段 | 1-512upr | 1-150upr | |
| 線性精度 | 3nm＋5% | ||
| 固有頻率 | 2-3Hz | 3-5Hz | |
