采用光譜共焦傳感器實現非接觸式測量
完美測量薄壁件、塑料件、橡膠件、精密涂層、拋光表面等易劃傷或受壓變形的工件
避免劃傷光學鏡面、半導體晶圓等超光滑表面
測量時不會因探針壓力導致工件彎曲或振動,保證數據真實性
精準無損,賦能特殊材料檢測
采用光譜共焦傳感器實現非接觸式測量
完美測量薄壁件、塑料件、橡膠件、精密涂層、拋光表面等易劃傷或受壓變形的工件
避免劃傷光學鏡面、半導體晶圓等超光滑表面
測量時不會因探針壓力導致工件彎曲或振動,保證數據真實性
型號 | NCR120 |
傳感器量程 | 300μm |
傳感器最大分辨率 | 4nm |
傳感器最大線性精度 | 0.1μm |
驅動器行程 | 120mm |
立柱行程 | 420mm |
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