?需更換傳感器的單次數據采集技術，實現了尺?、形狀、波紋度、粗糙度的全?精準測量，不僅簡化了操作流程，提?了測量效率，還確保了測量結果的準確性和?致性。
粗糙度輪廓一體機FDI系列
產品參數PRODUCT PARAMETERS
| 型號 | FDI | |
| 一體式傳感器 | Z1軸量程 | 20mm |
| Z1分辨率 | 1.2nm | |
| 輪廓精度 | Z1線性精度 | ≤±(0.5+|0.02H|)μm |
| 圓弧 | 士(1+R/12)μm | |
| 圓弧Pt | ≤0.3μm | |
| 角度 | ±1′ | |
| 直線度 | 0.3um/100mm(截止波長0.8) | |
| 粗糙度精度 | 指示精度 | ≤±(6nm+2.5%) |
| 殘值噪聲 | ≤0.006μm | |
| 重復性 | 1δ≤1nm | |
| 截止波長 | 0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8mm | |
| 評定長度 | λC×2、3、4、5、6、7 | |
| 驅動速度 | X軸驅動方式 | 電動 |
| Y軸驅動方式 | 電動 | |
| 大理石尺寸 | 500mm×800mm | |
| 臺面材質 | 天然大理石 | |
測量案例
Measurement case
