采用波速參數(shù)評估圓輪廓的波紋度,與行業(yè)主流波紋度控制方式一致,測量結(jié)果可與行業(yè)主流溯源。
高帶寬、高信噪比的傳感系統(tǒng),有效測得圓輪廓的微觀形貌。
“靜享平穩(wěn)”,超強的隔振措施能有效隔離環(huán)境振動,保證測量的準確性及穩(wěn)定性。
采用波速分析表明微觀形貌
采用波速參數(shù)評估圓輪廓的波紋度,與行業(yè)主流波紋度控制方式一致,測量結(jié)果可與行業(yè)主流溯源。
高帶寬、高信噪比的傳感系統(tǒng),有效測得圓輪廓的微觀形貌。
“靜享平穩(wěn)”,超強的隔振措施能有效隔離環(huán)境振動,保證測量的準確性及穩(wěn)定性。
項目 | WES1000 | WES2000 | |
旋轉(zhuǎn)工作臺 | 回轉(zhuǎn)精度 | (0.025+6H/10000)μm | |
最大測量直徑 | 80mm | 200mm | |
最大檢測高度 | 60mm | 180mm | |
最大回轉(zhuǎn)直徑 | 100mm | 200mm | |
垂直軸 | 移動方式 | 手動 | |
垂直移動 | 13mm | 220mm | |
水平臂 | 水平移動 | 13mm | 120mm |
水平移動方式 | 手動 | ||
檢測器 | 傳感器量程 | ±500μm、±300μm、±150μm、±75μm(可自由切換) | |
傳感器分辨率 | 最高0.001μm | ||
圓周采樣點數(shù) | 28800 | ||
諧波分析 | 分析波段 | 2/10000 | |
線性精度 | 2nm+4% | 3nm+5% | |
固有頻率 | 2-3Hz |
精密測量解決方案提供商
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