以精密導(dǎo)軌為測量基準(zhǔn),精度更高,應(yīng)用更加廣泛。
具有極低的殘值噪音,最新國標(biāo)中,殘值噪聲是粗糙度測量的一項重要指標(biāo),殘值噪音決定了測量的基礎(chǔ)精度。
可輕松應(yīng)對斜面零件、圓弧面零件的測量。
極低的殘值噪音,實現(xiàn)納米級測量
以精密導(dǎo)軌為測量基準(zhǔn),精度更高,應(yīng)用更加廣泛。
具有極低的殘值噪音,最新國標(biāo)中,殘值噪聲是粗糙度測量的一項重要指標(biāo),殘值噪音決定了測量的基礎(chǔ)精度。
可輕松應(yīng)對斜面零件、圓弧面零件的測量。
型號 | DR | |
粗糙度精度 | 量程 | ±620μm |
分辨率 | 262144:1 | |
指示精度 | ≤±(5nm +2.5%) | |
殘值噪聲 | ≤0.005μm | |
重復(fù)性 | 1δ≤1nm | |
截止波長 | 0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8mm | |
評定長度 | λC×2、3、4、5、6、7 | |
驅(qū)動速度 | X軸驅(qū)動方式 | 電動 |
Y軸驅(qū)動方式 | 電動 |
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